使用精密直尺和厚薄规,测量气缸盖衬垫接触的表面是否有翘曲。大翘曲值不得超过0.05mm。如超过上述范围应予以修整。其方法是: 1、Festo气缸体顶平面螺孔附近的凸起,可用油石推磨或用细锉刀修平。 2、Festo气缸体与气缸盖衬垫接触的表面不平,可用磨、铣的方法修复,也可用铲刀铲平,或涂上研磨膏,把缸盖放在缸体上扣合研磨。用肉眼检查各个气缸是否有划痕。...
粘结型准三维陶瓷基板(1)金属或陶瓷围坝;(2)有机胶粘接:耐热性差;(3)无机胶粘接;电镀围坝 DPC 陶瓷基板(1)金属围坝(电镀铜层 500-700um);(2)热导率高、图形精度高;(3)基板易翘曲(厚铜层);(4)成本较高;准三维陶瓷基板制备技术(3)免烧陶瓷围坝准三维基板(武汉利之达)。具备DPC基板优点、材料/工艺成本低、围坝高度可调、低翘曲。...
使用精密直尺和厚薄规,测量气缸盖衬垫接触的表面是否有翘曲。大翘曲值不得超过0.05mm。如超过上述范围应予以修整。其方法是:1、Festo气缸体顶平面螺孔附近的凸起,可用油石推磨或用细锉刀修平。2、Festo气缸体与气缸盖衬垫接触的表面不平,可用磨、铣的方法修复,也可用铲刀铲平,或涂上研磨膏,把缸盖放在缸体上扣合研磨。用肉眼检查各个气缸是否有划痕。如果发现有较深的划痕,应对所有气缸重新键孔。...
对于封装上表面和下表面衬底层,等效机械性能计算方法如下14:(eq. 3)其中Eeff是有效杨氏模量,αeff 是有效热膨胀系数,分别是杨氏模量Ei, αi, Vi和CTE与构成材料的体积或面积百分比。图12是有限元模型,图13是传感器、ASIC和衬底上的翘曲模拟结果。承载传感器微结构的衬底的翘曲w定义为沿框架本身的位移z的最大值和最小值的差。...
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