BS EN ISO 14644-16:2019
洁净室和相关受控环境 洁净室和独立设备的能源效率
Cleanrooms and associated controlled environments - Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
BS EN ISO 14644-16:2019 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- BS EN ISO 14644-16:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-16:2019
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电子制造业洁净室的特点
电子制造业洁净室的特点：洁净度等级要求风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控，照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求非常严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。 这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。...
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