GSO ISO/TS 20177:2024
真空技术 真空计 测量和报告排气速率的程序

Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure and report outgassing rates

标准号

GSO ISO/TS 20177:2024

发布

2024年

发布单位

GSO

当前最新

GSO ISO/TS 20177:2024

 

 

适用范围

本文件描述了测量真空室组件和整个真空室的排气速率的程序。排气速率预计在 23 °C 时低于 10−5 Pa m3 s−1 (10−2 Pa L s−1)，并且来自适用于高真空或超高真空应用的设备。排气物质或蒸汽的分子量低于 300 u。总排气速率的上限 10−5 Pa m3 s−1 是指定的，与排气材料的尺寸、总表面积和质地或状态无关。如果确定了特定的排气速率（单位面积的排气速率），则该面积不是包括表面粗糙度的特定表面积，而是标称几何面积。当难以确定样品的标称几何表面积时，例如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或复杂设备，则使用质量特定排气速率（例如每克排气速率）。对于许多实际应用，确定总放气率就足够了。如果使用灵敏度取决于气体种类的测量仪器，则总放气率以氮当量表示。然而，在总放气率过高的情况下，会识别干扰气体种类，并测量其放气率以改善样品材料。本文件涵盖这两种情况。一些放气分子可以吸附在表面上，其停留时间比总测量时间长得多。当没有直接视线时，检测仪器无法检测到此类分子。这被视为表面效应，表面分析研究比此处考虑的一般放气率测量更有用。此外，通过紫外线或 X 射线照射从表面释放的分子不在本文件的范围内。本文件旨在标准化放气率的测量，以便不同实验室和不同方法获得的值具有可比性。为此，对于任何所述方法，均可根据计量水平将每种方法的最重要参数追溯至国际系统 (SI)。质量损失放气率测量法主要用于测试航天器和卫星材料，其与气体无关。对于可接受的测量时间，质量损失测量需要比高真空和超高真空组件的典型放气率高得多的放气率 (>10−5 Pa m3 s−1)。此外，由于真空室的重量，无法原位测量样品，因为天平不兼容真空。出于这些原因，本文件不考虑质量损失测量。假设本文件的用户熟悉高真空和超高真空技术以及相应的测量仪器，例如电离计和四极杆质谱仪。

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