GB/T 41064-2021
表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
GBT41064-2021, GB41064-2021
GB/T 41064-2021 发布历史
本文件规定了一种通过测定溅射速率校准材料溅射深度的方法,即在一定溅射条件下测定一种具有单层或多层膜参考物质的溅射速率,用作相同材料膜层的深度校准。当使用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)和二次离子质谱(SIMS)进行深度分析时,这种方法对于厚度在20nm~200nm 之间的膜层具有5%~10%的准确度。溅射速率是由参考物质相关界面间的膜层厚度和溅射时间决定。使用已知的溅射速率并结合溅射时间,可以得到被测样品的膜层厚度。测得的离子溅射速率可用于预测各种其他材料的离子溅射速率,从而可以通过溅射产额和原子密度的表值估算出这些材料的深度尺度和溅射时间。
GB/T 41064-2021由国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 发布于 2021-12-31，并于 2022-07-01 00:00:00.0 实施。
GB/T 41064-2021 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
GB/T 41064-2021 发布之时，引用了标准
- GB/T 20175-2006 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法
- ISO 14606 表面化学分析.溅射深度轮廓.使用分层系统作为参考材料的优化*， 2022-11-21 更新
- ISO 14606:2000 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
* 在 GB/T 41064-2021 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 41064-2021的历代版本如下：
- 2021年 GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
- 标准号
- GB/T 41064-2021
- 别名
- GBT41064-2021
GB41064-2021 - 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 41064-2021
- 引用标准
- GB/T 20175-2006 ISO 14606 ISO 14606:2000