如MEMS陀螺仪应用在汽车上对汽车进行控制，近年随着技术的进步，MEMS陀螺仪芯片已大量用于手机等终端设备中，IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半导体器件微电子微机械器件第20部分：陀螺仪》标准来规范手机用MEMS陀螺仪芯片的生产与测试；以及IEC 62047-5《半导体器件微电子微机械器件第5部分：RF MEMS开关》用来规范通信设备用射频MEMS开关的参数要求和测试方法...
42709.7-2023半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器2023/5/232023/12/1 国家标准《半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。 ...
MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件加工技术并非机械式。相反，它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。批量制造能显著降低大规模生产的成本。...
如果尺寸和速度不足以在连接器设计中引起麻烦，则新一代MEMS将增加另一个复杂度。微电子机械系统（MEMS）将机械传感器和电子器件集成在一个芯片中。这项技术的新应用领域层出不穷，例如在气囊传感器、光学开关和血压传感器上使用的加速度计。这些传感器给已经复杂的设备增加了更多的触点，并且封装变得具有挑战性，因为传感器的一部分必须对环境开放才能变得有效，而其余部分则需要以正常方式进行电镀和密封。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号