湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、湿法清洗)制程中使用的各种液体化工材料。 湿电子化学品按用途可分为通用化学品(超净高纯试剂)和功能性化学品(以光刻胶配套试剂为代表)。 湿电子化学品在半导体制造领域的应用主要包括集成电路和分立器件制造用晶圆的加工,包括前端加工与后端封测环节,其中湿电子化学品主要用于清洗、光刻和蚀刻工艺。 ...
由于下游行业(半导体领域、光伏等领域)对工艺品控要求极高,对电子湿化学品的纯度、洁净度、精度等特性具有严苛的要求,一般要求控制杂质颗粒粒径低于0.5µm,金属杂质含量低于ppm级(10-6为ppm,10-9为ppb,10-12为ppt)。因此,与一般化学品不同,电子湿化学品具有高技术门槛、高附加值的特点。从湿电子化学品的角度来讲晶片的污染,主要有颗粒污染、薄膜污染、痕量分子或者原子污染。...
2.2 废蚀刻液近年来,废蚀刻液用途广泛,铜制品工业的飞速发展使得大量的含铜废液产生。与此同时,国家对环保要求也与日俱进,因此,含铜废液的处理及排放已成为企业的一大难题。废蚀刻液可用于生产硫酸铜、碱式氯化铜、碱式碳酸铜、氧化铜、氨基酸铜等,含氨废水经过机械压缩,蒸发结晶产生氯化铵。目前,废蚀刻液的处理主要采用2种技术,即加工硫酸铜技术和循环再生技术,其他新技术均是以这2种技术为基础而发展起来的。...
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