3.2 配有高真空挡板阀门、波纹管、电磁放气阀、管路等。3.3真空阀门均采用气动高真空挡板阀。该阀门的开启与闭合均由PLC控制,且联动互锁,断电时阀门自动关闭以保证炉内真空度,避免工件氧化。3.4真空测量采用数显真空计及配套规管,该真空计可以实现测量过程中的量程自动转换和超程保护,并具有数据输出、故障报警等多种功能。...
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