ISO/DIS 21360-5
真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第5部分：NEG 真空泵
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: NEG vacuum pumps
ISO/DIS 21360-5 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- ISO/DIS 21360-5
- 发布
- 1988年
- 发布单位
- 国际标准化组织
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