T/ZSA 224-2024
半导体设备前端模块

Equipment front end module

T/ZSA 224-2024 发布历史

T/ZSA 224-2024由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2024-04-12，并于 2024-04-13 实施。

T/ZSA 224-2024在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

T/ZSA 224-2024 半导体设备前端模块的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/ZSA 224-2024 。

T/ZSA 224-2024的历代版本如下：

• 2024年 T/ZSA 224-2024 半导体设备前端模块

本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。

标准号

T/ZSA 224-2024

发布

2024年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/ZSA 224-2024

 

 

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