T/CASME 134-2022
原子层沉积粉体包覆设备
Atomic layer deposition reactor for particle surface coating
T/CASME 134-2022 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/CASME 134-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CASME 134-2022
- 本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
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