T/CHBAS 50-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22,并于 2023-12-30 实施。
T/CHBAS 50-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
T/CHBAS 50-2023 电子工业用气体 二氟甲烷的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/CHBAS 50-2023 。
本文件规定了电子工业用气体二氟甲烷(以下简称二氟甲烷)的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业二氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用二氟甲烷,它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号),由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
氟化氢是基础化工产品,无水氟化氢是电解制造元素氟的原料;在化学工业中,广泛应用于氟置换卤代烃中氯制取氯氟烃,如二氟二氯甲烷(F12)和二氟一氯甲烷(F22)等;在石化工业中,作为芳烃、脂肪族化合物烷基化制高辛烷值汽油的液态催化剂。 在电子工业中,无水氟化氢用于电解合成三氟化氮的原料,半导体制造工艺中的刻蚀剂等。...
ORTHOPure FID-ppt-ppb-ppmFID系列利用火焰离子检测器来测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)或空气中杂质气体,包括甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、非甲烷碳氢化合物(NMHC)等。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号