电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪,又称微区X射线光谱分析仪,是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,英文简称为EPMA。 可用来分析薄片中矿物微区的化学组成,分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。 ...
三、成分分析部分 能谱分析仪(EDS) EDS是能快速分析各种试样微区内Be-U的所有元素的一种设备。EDS可以与SEM、TEM、XPS等组合使用,其中SEM-EDS组合是应用最广的显微分析仪器。EDS的工作原理是利用电子显微镜的高能电子束与被观察试样相互作用产生特征X射线,能谱仪将这些信息捕获、处理及分析,从而能获得试样成分的定性、半定量甚至全定量结果。...
微束分析-半导体探测器X射线能谱仪通则仅适用于固态电离作用原理的半导体探测器EDS。该标准只规定了与电子探针(EPMA)或扫描电镜(SEM)联用的此类EDS的最低要求,至于如何实现分析则不在本标准的规定范围之内。 GB/T 25189-2010 微束分析-扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法,该标准规定了扫描电镜-能谱仪化学成分定量分析相关参数的测定方法。...
在这类仪器中,电子束在试样中产生特征 X 射线,这些 X 射线通过波谱仪(WDS)进行分析,这种仪器概念也被称为电子探针显微分析仪(EPMA)。 EPMA的高电子电流会使背散射电子的成像探测器达到饱和,因此无法同时进行样品成像和元素分析。减小电子束电流就可以通过散射电子(包括背散射电子和二次电子)生成样品的图像,并通过测量样品较小体积范围的特征X射线进行元素分析。...
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