devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators北京遥测技术研究所、中国电子技术标准化研究院、河北半导体研究所、中机生产力促进中心10SC47FIEC 62047-33:2019 ED1半导体器件-微电子机械器件-第33部分:MEMS压阻式压力敏感器件Semiconductor devices...
如MEMS陀螺仪应用在汽车上对汽车进行控制,近年随着技术的进步,MEMS陀螺仪芯片已大量用于手机等终端设备中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半导体器件微电子微机械器件第20部分:陀螺仪》标准来规范手机用MEMS陀螺仪芯片的生产与测试;以及IEC 62047-5《半导体器件微电子微机械器件第5部分:RF MEMS开关》用来规范通信设备用射频MEMS开关的参数要求和测试方法...
MEMS压力传感器同样是使用最广泛的MEMS传感器产品之一,通常应用于智能手机、航空航天、汽车、生物医药以及工艺控制等领域,按照压力探测方式可以分为压阻式、电容式、谐振传感等,而最为常用的是压阻式和电容式,因此这两种压力传感器的技术迭代也最为活跃。...
写在前面虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我们生产,甚至生活中早已无处不在了,智能手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备,部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号