T/CHBAS 45-2023
电子工业用气体 氟气混合气

Gas fluorine gas mixture for electronic industry


标准号
T/CHBAS 45-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 45-2023
 
 
适用范围
本文件规定了电子工业用气体氟气混合气(以下简称氟气混合气)的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用氟气混合气,主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领 域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气,也可以是其他不与氟气发生化学反应,且不影 响反应工艺的气体。

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