GB/T 38447-2020
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
GBT38447-2020, GB38447-2020
说明：
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- 标准号
- GB/T 38447-2020
- 别名
- GBT38447-2020
GB38447-2020 - 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 38447-2020
- 引用标准
- GB/T 10623 GB/T 2298 GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。