找不到引用KS B ISO 24490-2022 的标准
表1 分子泵低温泵共同抽气数据表2 分子泵单独抽气数据 实验结果表明,引入低温泵后,容器真空度有显著提高,但低温泵对容器本底几乎没有影响,低温泵对系统的有效检漏灵敏度几乎没有影响。 结论 根据本文的研究可以得出结论,以低温泵为主泵的检漏系统中,低温泵对氦气的分流很小,因此低温泵的引入对系统有效检漏灵敏度影响很小。...
低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。 注入式液氦低温泵 主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到帕数量级,故泵可获得帕以下的极限压力。...
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号