KS I ISO 14644-9-2019
洁净室和相关控制环境 - 第9部分:颗粒浓度对表面清洁度的分类

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration

标准号: KS I ISO 14644-9-2019
发布: 2019年
发布单位: KR-KS
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