T/CNIA 0117-2021
电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法

Determination of trace anion content in high-purity hydrofluoric acid for electronics industry Ion chromatography


标准号
T/CNIA 0117-2021
发布
2021年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CNIA 0117-2021
 
 
适用范围
本文件规定了离子色谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子（氯化物、硝酸根、磷酸根、硫酸根）的方法。 本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定。测定范围：10.000μg/kg～5000.000μg/kg。

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