T/CHBAS 41-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22,并于 2023-12-30 实施。
T/CHBAS 41-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
T/CHBAS 41-2023 电子工业用气体 乙硼烷混合气的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/CHBAS 41-2023 。
本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气(以下简称乙硼烷混合气)的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气,主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离 子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气,也可以是其他不与乙硼烷发生化 学反应,且不影响反应工艺的气体。
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号),由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
化学中,硼烷类化合物是指仅由硼元素和氢元素组成的硼氢化合物。它可以用化学通式BxHy表示。这类化合物都是通过人工合成得到的。由于硼元素位于化学元素周期表第Ⅲ主族,具有较强的还原性(容易被氧化),因此硼烷类化合物大多遇氧气和水不稳定,需要在无水无氧条件下(惰性气体保护)保存。(甲)硼烷BH3为气体,二聚体为乙硼烷B2H6。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号