JJF 1932-2021
椭偏仪校准规范

Calibration Specification for Ellipsometers


JJF 1932-2021 中,可能用到以下仪器

 

HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪

HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪

HORIBA科学仪器事业部

 

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

优尼康科技有限公司

 

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

HORIBA科学仪器事业部

 

HORIBA.AutoSE.全自动快速椭偏仪

HORIBA.AutoSE.全自动快速椭偏仪

优尼康科技有限公司

 

UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪

UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪

HORIBA科学仪器事业部

 

In-situ series 在线椭偏仪

In-situ series 在线椭偏仪

HORIBA科学仪器事业部

 

HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪

HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪

优尼康科技有限公司

 

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪

优尼康科技有限公司

 

椭圆偏振光测量仪FE5000

椭圆偏振光测量仪FE5000

北京先锋泰坦科技有限公司

 

SEMILAB-全光谱椭偏仪GES5E

SEMILAB-全光谱椭偏仪GES5E

北京亚科晨旭科技有限公司

 

LE-103PV 激光型椭偏仪(Laser Ellipsometer)

LE-103PV 激光型椭偏仪(Laser Ellipsometer)

北京亚科晨旭科技有限公司

 

SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台

SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台

北京亚科晨旭科技有限公司

 

美国AST椭偏仪SE200BM

美国AST椭偏仪SE200BM

善福电子科技有限公司

 

 美国AST椭偏仪SE200BM

美国AST椭偏仪SE200BM

善福电子科技有限公司

 

General Photonics稳偏仪POS-20X

General Photonics稳偏仪POS-20X

森泉光电有限公司

 

General Photonics扰偏仪PCD-104

General Photonics扰偏仪PCD-104

森泉光电有限公司

 

薄膜厚度测量系统

薄膜厚度测量系统

孚光精仪(中国)有限公司

 

标准号
JJF 1932-2021
发布
2021年
发布单位
国家计量技术规范
当前最新
JJF 1932-2021
 
 

JJF 1932-2021相似标准


推荐

简介

  是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得成为一种极具吸引力的测量仪器。  早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使数据的拟合分析变得容易,促使在更多的领域得到应用。...

的构造

  在光谱的测量中使用不同的硬件配置,但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束。测量由被测样品反射后光的偏振态。这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。  有些仪器测量ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振片(称为起器)。再利用第二个固定位置的偏振片(称为检偏器)来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是固定起器和检偏器,而在中间部分调制偏振光的状态,如利用声光晶体等,最终得到输出光束的偏振态。...

的应用

...

的历史

  早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使数据的拟合分析变得容易,促使在更多的领域得到应用。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度,成熟的软件提供了解决问题的新方法,因此,已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。...


JJF 1932-2021 中可能用到的仪器设备





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