ISO 24639:2022
微束分析.分析电子显微镜.用电子能量损失光谱法进行元素分析的能量标度校准程序
Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Calibration procedure of energy scale for elemental analysis by electron energy loss spectroscopy
- 标准号
- ISO 24639:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 24639:2022
- 引用标准
- ISO 15932
- 本文件规定了（扫描）透射电子显微镜中电子能量损失光谱的能量步长和能量标度的校准程序，能量范围 0 eV 至 3000 eV 的不确定度为 ±3%。 本文件旨在用于通过足够电子透明的样品（例如薄箔样品）传输电子的电子能量损失光谱，而不是针对来自块状样品的背散射电子而设计。
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