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加工此类微结构阵列一般需要超精密加工设备多个线性轴的协同,当缺少某一个方向的线性轴(如Y轴)时将限制此类结构的准确加工。针对这一挑战,深圳大学机电与控制工程学院张国庆老师课题组成功开发出一种全新的刀具偏置飞刀切削(Offset-fly-cutting-servo,OFCS)加工系统,在商用精密加工设备普通配置条件下(三轴,X、Z和C轴)即可加工出直槽类微纳结构阵列。...
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