T/CPCIF 0334-2024
电子工业用气体 氟氮混合气

Gases for the electronics industry—Fluorine nitrogen mixture

标准号

T/CPCIF 0334-2024

发布

2024年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CPCIF 0334-2024

 

 

适用范围

项目 氟（F2）含量（体积分数）/10-2　 氮（N2）含量（体积分数）/10-2　 氧（O2）含量（体积分数）/10-6　 四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6　 六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6　 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6　 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6　 氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6　

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