KS B 0083-2017(2022)
用放电和电离真空计测量低压的方法

Measuring methods of low pressures by discharge and ionization vacuum gauges

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标准号: KS B 0083-2017(2022)
发布: 2017年
发布单位: 韩国科技标准局
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真空表的分类说明

（3）热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。　　（4）电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。　　（5）放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。　　（6）粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。...

真空计按原理可以分哪几类?

气体放电真空计概述

　　真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。...

真空计的不同分类

5、放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。　　6、粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。　　7、场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。　　8、分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。...

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