T/CHBAS 46-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22,并于 2023-12-30 实施。
T/CHBAS 46-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
T/CHBAS 46-2023 电子工业用气体 六氟乙烷混合气的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/CHBAS 46-2023 。
本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气(以下简称六氟乙烷混合气)的技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气,主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。 六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气,也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应,且不影响反应工艺 的气体。
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