BS ISO 21360-5:2023
真空技术测量真空泵性能的标准方法非蒸发吸气剂 (NEG) 真空泵

Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps

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标准号: BS ISO 21360-5:2023
发布: 2023年
发布单位: 英国标准学会
当前最新: BS ISO 21360-5:2023

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