DIN EN ISO 23131 E:2022-08
椭偏仪 原理（草案）
Principle of ellipsometer (draft)
DIN EN ISO 23131 E:2022-08 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- DIN EN ISO 23131 E:2022-08
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN EN ISO 23131:2023-01
- 当前最新
- DIN EN ISO 23131:2023-01
DIN EN ISO 23131 E:2022-08相似标准
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简述椭偏仪的测量原理
单色仪用来选择单一的、窄带的波长，通过移动单色仪内的光学设备（一般由计算机控制），单色仪可以选择感兴趣的波长。这种方式波长比较准确，但速度比较慢，因为每次只能测试一个波长。如果单色仪放置在样品前，有一个优点是明显减少了到达样品的入射光的量（避免了感光材料的改变）。另外一种测量的方式是同时测量整个光谱范围，将复合光束的波长展开，利用探测器阵列来检测各个不同的波长信号。...
椭偏仪的工作原理简介
通常椭偏仪测量作为波长和入射角函数的ρ的值（经常以ψ和∆或相关的量表示）。一次测量完成以后，所得的数据用来分析得到光学常数，膜层厚度，以及其他感兴趣的参数值。如图2所示，分析的过程包含很多步骤。...
解析椭偏仪的工作原理
椭偏仪是一种用于检测薄膜厚度，光学常数和材料微观结构的光学测量仪器。由于其高测量精度，它适用于超薄膜，不接触样品，不会损坏样品而不需要真空，使椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 椭偏仪的工作原理： 测量仪器椭偏仪 不同的硬件配置用于光谱椭偏仪的测量，但每种配置必须产生已知偏振的光束。测量被测样品反射的光的偏振态。这要求仪器量化极化状态的变化量ρ。 ...
椭偏仪简介
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 早期的椭偏研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使椭偏数据的拟合分析变得容易，促使椭偏仪在更多的领域得到应用。...