影响因素包括:1)、润滑油: 在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。由于真空泵要求真空度很高,一般使用石蜡基窄馏分润滑油。如果为扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。...
对于大型腔室来说,气体吸入非常迅速,这可能会导致转子受损,如 3.1 节中所提及的。使用干燥的气体,如氮气或无油空气,对泵进行排气,既可以防止污染,还可以恰当地对前级泵进行充气。以一定的速度使用排气阀、利用涡轮分子泵控制器,可对泵进行安全的排气。由于涡轮分子泵的压缩比还取决于速度,因此最优初始排气速度应该为额定速度的 50%,且应该以最近速度的 20% 开始。...
使用干燥的气体、氮气或无油空气对泵进行排气,既可以防止污染,还可以恰当地对前级泵进行充气。以一定的速度使用排气阀、利用涡轮分子泵电子驱动器,可对泵进行安全的放气。由于涡轮分子泵的压缩比还取决于速度,因此最优初始排气速度应该为额定速度的 50%,且应该以至少 20% 的速度开始。除了出厂设置以外,现代电子技术允许放气速度具有一定的灵活性。适当的放气可保护接受器不受污染。...
油位过低对排气阀不能起封闭作用,影响真空度,过高可能会引起喷油;3.按规定接上电源线,注意具体电机机身上的标识;4.连接泵进气管,与泵进气管口的连接管道不宜过长,千万注意要检查真空泵外连接管道、接头及容器绝对不能漏气,要密封。否则会影响极限真空及真空泵使用寿命;5.泵的工作环境:温度5℃~40℃范围内,相对湿度不大于85%,进气口压力1.33×103帕的条件下工作。...
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