T/CHBAS 42-2023
电子工业用气体 磷烷混合气

Gas phospane mixture for electronic industry

T/CHBAS 42-2023 发布历史

T/CHBAS 42-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22，并于 2023-12-30 实施。

T/CHBAS 42-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

T/CHBAS 42-2023 电子工业用气体 磷烷混合气的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/CHBAS 42-2023 。

T/CHBAS 42-2023的历代版本如下：

• 2023年 T/CHBAS 42-2023 电子工业用气体 磷烷混合气

本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子 注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应， 且不影响反应工艺的气体。

标准号

T/CHBAS 42-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CHBAS 42-2023

 

 

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