T/CIECCPA 007-2024
半导体工业氮氧化物排放要求

Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements


T/CIECCPA 007-2024 发布历史

T/CIECCPA 007-2024由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2024-03-04,并于 2024-03-08 实施。

T/CIECCPA 007-2024在国际标准分类中归属于: 13.040.40 固定源排放限值。

T/CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求的最新版本是哪一版?

最新版本是 T/CIECCPA 007-2024

T/CIECCPA 007-2024的历代版本如下:

 

本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。

标准号
T/CIECCPA 007-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CIECCPA 007-2024
 
 

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