T/CASME 798-2023
半导体材料专用加工刀具

Specialized processing tools for semiconductor materials


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标准号
T/CASME 798-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CASME 798-2023
 
 
本文件规定了半导体材料专用加工刀具的术语和定义、分类、基本要求、工艺流程、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺内容。

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