T/CCGA 30001—2019
超纯氨

Ultra pure ammonia

标准号

T/CCGA 30001—2019

发布日期

2019年10月29日

实施日期

2019年11月13日

废止日期

无

中国标准分类号

C266

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

中国团体标准

适用范围

本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。