ASTM E986-97
扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
ASTM E986-97 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- ASTM E986-97
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E986-04
- 当前最新
- ASTM E986-04(2024)
- 1.1 这种做法提供了一种可重复的方法来表征扫描电子显微镜（SEM）的性能。该性能是 SEM-操作员-材料组合的衡量标准，并通过测量多种材料的有效“表观边缘锐度”进行量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪（例如，偏转波形生成）。这种做法有效的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 200 000 X。 1.2 本标准...
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