目前,国际工业领域主流的PVD多层硬质涂层主要包括过渡族金属氮化物和碳化物,如Ti/TiN, TiN/CrN, CrN/AlCrN, TiC/TiCN, CrAlN/AlCrTiSiN等;在此之前,国际上没有建立与PVD多层硬质涂层的成分、结构及性能相关的标准,从而限制了该领域的进一步发展。...
就目前PVD 技术的发展状况,涂层薄膜结构大体可以分为单一涂层、复合涂层、梯度涂层、多层涂层、纳米多层涂层、纳米复合结构涂层。 1、复合涂层是由各种不同功能或特性的涂层薄膜组成的结构,也称为复合涂层结构膜,其典型涂层为目前的硬涂层加软涂层,每层薄膜各具不同的特征,从而使涂层具有更好的综合性能。 ...
(2)纳米级多无多层复和涂层材料及工艺技术研究 跟踪国际先进水平,研究50层以上纳米级复和涂层技术及材料,包括纳米级多层多元复和涂层材料重组、结构、厚度、层数的综和设计,以及涂层材料的微观组织结构及制备工艺技术研究。 (3)表面涂层工艺及质量的数值模拟及优化控制的研究与开发 着重对热化学表面改性过程以及PVD和CVD沉积技术进行工艺模拟及优化研究。...
纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析,例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,保护性薄膜,装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料,包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。...
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