（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。...
单光束激光干涉仪采用单参数测量，无法同时获得光路在两个方向的准确移位，也无法测量出被测机器在测量行程中不同位置的角度，如滚动角，这导致无法得知空间直线度的误差和阿贝误差。以往单光束激光干涉仪用户仅通过对机器轴的某个位置进行定位精度检测合格，便认为该轴基本满足加工要求。然而，在实际加工过程中，仍然存在一些已通过定位精度验收的机器出现零件加工质量问题。...
光栅尺，也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。 光栅传感器是数控机床上应用较多的一种检测装置，用来检测高精度直线位移和角位移。...
像铁锹整地那样研磨超精密零件 我国超精密机床及关键基础部件此前之所以主要依赖进口，最大的技术难题在于缺少加工核心零件的“工作母机”，即制造机器和机械的机器，又称工具机，包括车床、磨床、刨床、钻床等，是制器之器、工业自强之基。 一般的机械加工是将机床精度“复印”到零件的过程，也就是说，没有精度高的机床就加工不出精度高的零件。没有精度高的零件，就组装不出精度高的部件和机床。...
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