T/QGCML 743-2023
半导体设备零部件阳极氧化工艺规范

Specifications for anodizing process of semiconductor equipment parts


T/QGCML 743-2023 发布历史

T/QGCML 743-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-04-17,并于 2023-04-30 实施。

T/QGCML 743-2023在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

T/QGCML 743-2023 半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的最新版本是哪一版?

最新版本是 T/QGCML 743-2023

T/QGCML 743-2023的历代版本如下:

 

本标准规定了半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的术语与定义、技术要求、阳极氧化工艺方法。 本标准适用于半导体设备零部件的阳极氧化工艺。

标准号
T/QGCML 743-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 743-2023
 
 

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