文件名 题目 状态 简介 ISO14644-1 通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类 2015 涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类 ISO14644-2 监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据 2015 指定监控和定期测试洁净室或洁净区的要求,以证明其继续符合ISO14644-1 ISO14644-3...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
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