GB/T 42106-2022
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
GBT42106-2022, GB42106-2022
GB/T 42106-2022 发布历史
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法,主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。 本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变,进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
GB/T 42106-2022由国家质检总局 CN-GB 发布于 2022-12-30，并于 2023-07-01 实施。
GB/T 42106-2022 在中国标准分类中归属于: A42 物理学与力学，在国际标准分类中归属于: 07.030 物理学、化学。
GB/T 42106-2022 发布之时，引用了标准
- GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 42106-2022的历代版本如下：
- 2022年 GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
- 标准号
- GB/T 42106-2022
- 别名
- GBT42106-2022
GB42106-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42106-2022
- 引用标准
- GB/T 6682