T/DLSHXH 005-2020
电子工业用气体 溶解乙炔

Gas dissolved acetylene for electronics industry

2022-08

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T/DLSHXH 005-2020

标准号
T/DLSHXH 005-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
替代标准
T/DLSHXH 005-2022
当前最新
T/DLSHXH 005-2023
 
 
本标准规定了电子工业用气体溶解乙炔的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于以工业乙炔为原料经纯化制备的电子工业用气体溶解乙炔。电子工业用气体溶解乙炔主要用于半导体领域。分子式:C2H2。 相对分子质量:26.04(按2011年国际相对原子质量)。

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