电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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为避免硅料与坩埚接触污染硅锭。 装料时按照坩埚底大块硅料、上面细硅料的原则,硅料缝隙间用细小硅料填充。 坩埚喷涂烧结设备、工模具、材料:坩埚喷涂站、坩埚烧结炉、恒温箱、红外测温枪、防护服、电动吸等;石英坩埚、氮化硅粉、纯水、压缩空气 装料设备、工模具、材料:硅锭运转车、石墨护板、防护服、电子秤、工业吸尘器;石英坩埚、硅料、硼母合金。 ...
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