T/GVS 002—2021
高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求

Generic specification for high precision magnetron sputtering coating plant

标准号

T/GVS 002—2021

发布日期

2021年06月28日

实施日期

2021年06月28日

废止日期

无

中国标准分类号

C344

国际标准分类号

23.160

发布单位

中国团体标准

适用范围

规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5 Pa～10-3 Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。

T/GVS 002—2021 中可能用到的仪器设备