T/CI 334-2024
半导体设备隔振系统设计及技术要求

Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments


 

 

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标准号
T/CI 334-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CI 334-2024
 
 
适用范围
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。  本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。  本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

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