DIN 28418-3:1980
真空技术.通过与标准真空规的直接比较校准真空计的标准方法.热导真空计

Vacuum technology; standard method for vacuum gauge calibration by direct comparison with a reference vacuum gauge, thermal conductivity gauges


DIN 28418-3:1980 中,可能用到以下仪器

 

ZDF-11B7真空计应用于半导体

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ZDF-62B5真空计用于低真空领域的过程管理

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ZDF-52B5真空计应用于半导体行业

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ZDZ-52T/0B7真空计应用于半导体行业

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ZDR-27/0B6 真空计应用于半导体制造

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ZDF-62B5真空计用于半导体

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DIN 28418-3:1980

标准号
DIN 28418-3:1980
发布
1980年
发布单位
德国标准化学会
替代标准
DIN ISO 3567:2015
当前最新
DIN ISO 3567:2015
 
 
真空技术;通过与参考真空计直接比较来校准真空计的标准方法;热导率计通过与参考真空压力计直接比较来标准化压力计的方法; v

DIN 28418-3:1980相似标准


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DIN 28418-3:1980 中可能用到的仪器设备





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