本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm 到数微米之间且长度和厚度的比值大于300 的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
GB/T 38446-2020由国家质检总局 CN-GB 发布于 2020-03-06,并于 2020-10-01 00:00:00.0 实施。
GB/T 38446-2020 在中国标准分类中归属于: L55 微电路综合,在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
* 在 GB/T 38446-2020 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
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