GB/T 25915.14-2022
洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
Cleanrooms and Related Controlled Environments Part 14: Assessing Equipment Suitability by Particle Concentration
GBT25915.14-2022, GB25915.14-2022
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- 标准号
- GB/T 25915.14-2022
- 别名
- GBT25915.14-2022
GB25915.14-2022 - 发布
- 2022年
- 采用标准
- ISO 14644-14:2016 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 25915.14-2022
- 引用标准
- ISO 14644-1:2015
- 适用范围
- 本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm 至大于或等于5μm。 本文件不适用于: ———根据微生物污染评估适用性; ———对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试; ———设备和材料的可清洁性; ———设备设计及材料选择的要求; ———材料的静电、热学等物理性能; ———具体工艺场合设备性能的优化; ———测试统计方法的选用; ———当地安全法规的条款和要求。
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