AFM表征石墨烯原理AFM可用于了解石墨烯细微的形貌和确切的厚度信息,属于扫描探针显微镜,它利用针尖和样品之间的相互作用力传感到微悬臂上,进而由激光反射系统检测悬臂弯曲形变,这样就间接测量了针尖样品间的作用力从而反映出样品表面形貌。因此,表征方法主要表征片层的厚度、表面起伏和台阶等形貌,及层间高度差测量。...
扫描隧道显微镜的应用使石墨烯的层数和石墨烯的蜂窝六边形结构可视化,从大量的石墨碳层区分出三层石墨烯也可以被可视化。 分离片表现出石墨烯独特的蜂窝结构,与石墨的三角形结构完全不同。在下图中,可以看到石墨烯六个碳原子的蜂窝六角形排列。 o 石墨烯原子力显微镜表征 o 原子力显微镜已广泛用于研究石墨烯的表面形貌、厚度、均匀性及畴生长。 ...
样品的2D主形貌和3D主形貌和样品的粗糙度值Ra和Rq台阶高度和纳米片厚度的测量在半导体加工过程中通常需要测量高纵比结构,像沟槽和台阶,以确定刻蚀的深度和宽度。这些在SEM下只有将样品沿截面切开才能测量,AFM(原子力显微镜)可以对其进行无损的测量,同时,AFM(原子力显微镜)在垂直方向的分辨率约为0.01nm,因此可以很好的用于表征纳米片厚度。...
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