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微波等离子体CVD制备金刚石膜的设备分为三代。*代为石英管式装置。第二代为石英钟罩式和不锈钢反应室式。这两代装置除用于制备金刚石膜之外,还广泛地用于微波等离子体的其他应用领域的研究和开发,对各种薄膜制备,刻蚀与清洗,表面改性处理等方面有极为广泛的应用。第三代为大功率制备金刚石膜的装置,用于金刚石膜产品的大规模生产。...
,其主要涉及到多种反应气体在基片表面相互反应沉积生成固体薄膜的过程,因此称为化学合成反应,CVD沉积反应大多都属于此类。...
点击上方「材料科学与工程」快速关注材料类综合、全面、专业的微信平台共 2159 字 2图,预计阅读时间:6分钟中南大学薄膜材料与表面技术研究团队一直围绕金刚石涂层在超硬刀具涂层、有机废水处理、先进热管理材料和生物传感器等领域的应用开展深入研究,并率先提出采用化学气相沉积(CVD)方法制备泡沫金刚石,在此基础上制造水处理电极和金刚石增强高导热复合材料,最近在这两个研究方向都取得了突破性进展,研究成果接连发表在国际权威期刊...
(七)“十一五”期间(2005--2010)CVD金刚石膜的产业化出现了喜人的新气象 1、CVD金刚石膜生产企业迅速扩展到20余家,仅在北京就有5家; 2、继热丝CVD (EACVD)之后,DC Arc Plasma Jet成为国内CVD金刚石膜产业化的主要技术之一,形成两大技术竞争的局面; 3、北京科技大学和河北省科学院于2009年联合成立了河北普莱斯曼金刚石科技有限公司...
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