T/CAMS 179-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-10-18,并于 2024-01-01 实施。
T/CAMS 179-2023在国际标准分类中归属于: 25.060.99 其他机床装置。
T/CAMS 179-2023 硅片切片机用高速高精主轴的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/CAMS 179-2023 。
本文件规定了硅片切片机用高速高精主轴的术语与定义、分类、外形、安装及标识、技术要求、试验方法、几何精度检验、检验规则、标志、包装与贮存。
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