IEC 62047-37:2020
半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
- 标准号
- IEC 62047-37:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-37:2020
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