T/CHBAS 54-2024由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2024-04-19,并于 2024-04-19 实施。
T/CHBAS 54-2024在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
T/CHBAS 54-2024 电子工业用气体 三氟化氮混合气的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/CHBAS 54-2024 。
本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气(以下简称三氟化氮混合气) 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。 本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气,也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应,且不影响反应工艺的平衡气。
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号),由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
SEMI组织在2018年C3.39-1011中,对三氟化氮的纯度要求要达到 99.98% 以上,对氟离子的限量要求为小于0.1ppm,用的是氟离子选择性电极测定方法。该方法操作繁琐,影响因素多,且重复性不佳。在GB/T21287-2021电子特气三氟化氮中 气体纯度要求达到5N级,氟离子的限量要求为0.5ppm,已采用离子色谱法测定氟离子的含量,分析效率大大提高。 ...
中文名称氟化氪准分子激光器英文名称krypton fluoride excimer laser定 义以氪、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光器名称(三级学科)...
中文名称氟化氙准分子激光器英文名称xenon fluoride excimer laser定 义以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。应用学科机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光器名称(三级学科)...
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